半導(dǎo)體行業(yè)中真空泵機(jī)組的組合

在半導(dǎo)體行業(yè)中都是采用羅茨真空泵與干泵組成的真空機(jī)組，一方面可以減少干泵的尺寸，另一方面可以在中真空范圍內(nèi)獲得較大的抽速。由于羅茨真空泵的軸承和同步齒輪都需要潤(rùn)滑，這潤(rùn)滑油會(huì)對(duì)真空工藝造成污染。解決的辦法是在齒輪箱的端蓋上外接一段真空管路，并用另一臺(tái)輔助真空泵將齒輪箱內(nèi)的壓力抽到低于羅茨泵的入口壓力，見圖1所示。

這樣，在這個(gè)壓力梯度下，齒輪箱內(nèi)油蒸汽就不會(huì)通過迷宮式軸封而進(jìn)入泵腔造成污染。另外當(dāng)羅茨真空泵抽除有害氣體時(shí)，要求電機(jī)傳動(dòng)軸的密封絕對(duì)不能泄漏，因而出現(xiàn)了屏蔽電機(jī)羅茨泵，確實(shí)做到了零泄漏。

1.輔助泵抽氣管 2.油分離器 3.齒輪 4.軸承 5.活塞環(huán) 6.轉(zhuǎn)子 7.屏蔽外殼 8.風(fēng)扇 9.驅(qū)動(dòng)軸 10.回油管