真空熱處理工藝的發展，是與設備的發展分不開的，提高設備技術水平以適應工藝要求，往往又與配套件技術的發展密切相關。

真空泵的發展

在1873年發明白熾燈泡前，主要是用活塞式抽氣機獲得真空，但只能達到0.25乇的真空度。隨后電子管制造技術要求更高的真空度，就促進了真空技術的發展，因而相繼出現了各種真空泵:旋轉水銀泵(1905年)，油封旋轉泵(1907年)、分子泵(1913年)和擴散泵(1915年)。其中擴散泵的發明、使真空技術進入高真空度(10-8毛左右)的階段。隨著近代科學技術的發展，例如加速器、熱核反應裝置，大型真空護等，都要求能在大容積的空間建立必要的真空度。因此，到了60年代初期,擴散泵的排氣速度已達到了數萬升/秒的能力。

但是，就真空熱處理所需的真空度而言，一般達到1x10-2~1x10-4乇就足夠了，只在特殊情況下，才用1x10-5~1X10-6乇的真空度。所以真空熱處理爐常用的真空泵，是由機械泵和油蒸發擴散泵所組成。