閥門在真空裝置中，是為了分隔系統的各部分用的。按其工作特性，可分為預真空閥和高真空閥，兩者主要區別在于其出入口直徑尺寸和真空密封結構。前者的出入口直徑，一般在15-20毫米左右，多用真空橡皮墊圈密封，用于預真空部分，而后者的口徑為65、100、150、180毫米或更大些，密封多用金屬墊(特別是用于超高真空部分的閥門)，只有極限真空低于10-6托時，用橡皮密封才較多。它們在使用材料上，均廣泛應用黃銅、鋼、不銹鋼等金屬，由于鑄造具有多孔性，故真空閥門都不用鑄件。
對于閥桿與蓋或與閥體的密封主要形式，不外乎橡皮的、金屬皺紋管的兩種，薄膜的(指在閥中用被青銅或鎳皮制成的，厚度為0.1-0.15毫米的皺紋薄膜密封，一般其往復行程為2-4毫米)用得較少。
在閥門孔處的密封(指關閉閥的密封)，一般是用真空橡皮。用錐形閥盤(由軟質材料銀、鎳或黃銅制成)與圓往形閥座(用淬火鋼)的線狀緊密貼合密封，由于它的耐久性不好(如閥盤對閥座略為偏斜，密封表面加工有缺陷，以及過份壓緊閥盤而擠壓閥座，都會使閥門不再嚴密而需修理).只用于超高真空中。而油密封及液態金屬密封，除某些真空度要求高而導管尺寸不太大的系統外，應用也不多。
在設計真空閥時，應充分注意到它的工作特性，合理設計結構和提出技術條件.滿足以下幾點主要要求:
l)閥的任何地方都不應漏氣。
2)閥的連接部分和閥門處在關閉時的密封，應保證真空嚴密性和可靠性。密封零件最好可以更換。
3)閥的出入口及閥腔，應盡可能是直的，使氣流少轉彎，并在閥開啟時，有足夠大的空間供氣流通過，有良好的通導能力。
4)閥的開關操作應輕快方便，極位(開、關、放氣……)操作順序和轉動方向應加標志并定位。
5)閥的全部金屬零件(特別是內表面)應都是抗腐蝕的，蒸汽壓低的，表面光潔的。
6)閥的結構應簡單和便于制造，注意焊縫應減少到最低限度。少用或避免用特殊加工及自己工廠條件難以加工的結構(如真空焊接)。
常見的真空閥的典型結構原理。它們的操縱動力，包括手動、氣動和電動等。
真空閥的結構形式，豐要分為單閥(包括二通和三通。直通和F形，T形)和組合閥(多通)兩種。其中特別是高真空閥和組合閥，在閥體上往往還要連接真空測盆接頭或其他接頭(如引電入真空的電接線柱)。
隨著我國電子工業的發展，真空裝置為滿足新的生產工藝，復雜的真空系統使用著許多閥門來控制，為了使系統導管長度縮短，提高通導能力，簡化系統結構，并便于操作和制造，目前已逐漸向組合閥邁進，用一個閥來代替若干個閥的工作，并集中控制。用于真空機組上的組合閥(又叫多擋閥)結構，在這個閥上，集中了頂真空、高真空、充、放氣等閥，并根據操作需要，可方便地用三個手柄，控制預真空泵、高真空泵、儲氣桶(氣雄)、充氣瓶(或管道)與容器(指真空室)的通路的接通或斷開，使它們各自單獨與容器接通，或串聯工作，或完全隔離，從而有利于不同的工藝操作。工作容器可以安裝在閥體上部，也可以安裝在側面。 |
